【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及計算機處理，尤其涉及一種對象面形信息確定方法、裝置、設備、介質及產品。
技術介紹
1、在芯片的制造過程中，通常會使用到一些材料，如晶圓。為了保障芯片制造的準確性，通常需要對制造所需的一些材料對象的表面形狀進行精確的測量重建。
2、現有的表面重建的方式通常是依賴于菲索干涉儀來重建對象表面的面形結構。菲索干涉儀在測量過程中的一些控制參數和策略等較多地依賴于用戶的工程經驗來確定，對用戶的要求較高，存在表面重建過程繁瑣以及準確性差的問題。
技術實現思路
1、本專利技術提供了一種對象面形信息確定方法、裝置、設備、介質及產品，以實現使得確定出的表面形狀圖是與待測對象高適配，達到提高對象面形信息重建便捷性的技術效果。
2、根據本專利技術的一方面，提供了一種對象面形信息確定方法，該方法包括：
3、獲取待測對象的干涉條紋圖，并確定所述干涉條紋圖的圖像描述信息；其中，所述干涉條紋圖是基于至少兩束光波分別傳播到參考面和所述待測對象表面后所反射的光束相干涉后得到的；
4、將所述干涉條紋圖、所述圖像描述信息、預設圖像處理方式描述信息以及澤尼克多項式圖像輸入至預先訓練的面形重構模型中，得到澤尼克多項式系數；其中，所述澤尼克多項式圖像是基于不同階的澤尼克多項式表示的圖像；所述預設圖像處理方式描述信息至少包括相位解包裹處理方式描述信息和澤尼克系數求解方式描述信息；
5、基于所述不同階的澤尼克多項式圖像和所述澤尼克多項式系數，得到所述待測對象
6、根據本專利技術的另一方面，提供了一種對象面形信息確定裝置，該裝置包括：
7、圖像描述信息確定模塊，用于獲取待測對象的干涉條紋圖，并確定所述干涉條紋圖的圖像描述信息；其中，所述干涉條紋圖是基于至少兩束光波分別傳播到參考面和所述待測對象表面后所反射的光束相干涉后得到的；
8、澤尼克多項式系數確定模塊，用于將所述干涉條紋圖、所述圖像描述信息、預設圖像處理方式描述信息以及澤尼克多項式圖像輸入至預先訓練的面形重構模型中，得到澤尼克多項式系數；其中，所述澤尼克多項式圖像是基于不同階的澤尼克多項式表示的圖像；所述預設圖像處理方式描述信息至少包括相位解包裹處理方式描述信息和澤尼克系數求解方式描述信息；
9、表面形狀圖確定模塊，用于基于所述不同階的澤尼克多項式圖像和所述澤尼克多項式系數，得到所述待測對象的表面形狀圖。
10、根據本專利技術的另一方面，提供了一種電子設備，所述電子設備包括：
11、至少一個處理器；以及與所述至少一個處理器通信連接的存儲器；其中，
12、所述存儲器存儲有可被所述至少一個處理器執行的計算機程序，所述計算機程序被所述至少一個處理器執行，以使所述至少一個處理器能夠執行本專利技術任一實施例所述的對象面形信息確定方法。
13、根據本專利技術的另一方面，提供了一種計算機可讀存儲介質，所述計算機可讀存儲介質存儲有計算機指令，所述計算機指令用于使處理器執行時實現本專利技術任一實施例所述的對象面形信息確定方法。
14、根據本專利技術的另一方面，提供了一種計算機程序產品，包括計算機程序，該計算機程序在被處理器執行時實現如本專利技術任一實施例所述的對象面形信息確定方法。
15、本專利技術實施例的技術方案，通過獲取待測對象的干涉條紋圖，并確定干涉條紋圖的圖像描述信息；其中，干涉條紋圖是基于至少兩束光波分別傳播到參考面和待測對象表面后所反射的光束相干涉后得到的；將干涉條紋圖、圖像描述信息、預設圖像處理方式描述信息以及澤尼克多項式圖像輸入至預先訓練的面形重構模型中，得到澤尼克多項式系數；其中，澤尼克多項式圖像是基于不同階的澤尼克多項式表示的圖像；預設圖像處理方式描述信息至少包括相位解包裹處理方式描述信息和澤尼克系數求解方式描述信息；基于不同階的澤尼克多項式圖像和澤尼克多項式系數，得到待測對象的表面形狀圖，解決了現有技術中依賴于菲索干涉儀進行對象面形重建，存在表面重建過程繁瑣以及準確性差的問題，實現了通過將干涉條紋圖、圖像描述信息、預設圖像處理方式描述信息以及澤尼克多項式圖像輸入至端到端訓練的面形重構模型中，得到澤尼克多項式系數，結合澤尼克多項式圖像和澤尼克多項式系數，來確定待測對象的表面形狀圖，使得確定出的表面形狀圖是與待測對象高適配的同時，達到了提高對象面形信息重建便捷性的技術效果。
16、應當理解，本部分所描述的內容并非旨在標識本專利技術的實施例的關鍵或重要特征，也不用于限制本專利技術的范圍。本專利技術的其它特征將通過以下的說明書而變得容易理解。
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1.一種對象面形信息確定方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述面形重構模型中包括圖像預處理模型、相位解包裹模型和波面擬合模型；所述將所述干涉條紋圖、所述圖像描述信息、預設圖像處理方式描述信息以及澤尼克多項式圖像輸入至預先訓練的面形重構模型中，得到澤尼克多項式系數，包括：
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述根據所述相位解包裹圖、所述澤尼克系數求解方式描述信息、所述波面擬合需求信息、所述多項式轉換指導信息以及澤尼克多項式圖像，確定波面擬合引導特征，包括：
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述目標損失函數包括第一損失函數、第二損失函數和第三損失函數，所述基于目標損失函數，對所述第一樣本中第二干涉條紋數據和所述第三干涉條紋數據、所述第一樣本中相位解包裹理論數據和所述相位解包裹預測數據，以及所述第一樣本中澤尼克多項式理論數據和所述澤尼克多項式預測數據處理，得到損失值，包括：
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，
7.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述第三損失函數包括第七損失函數、第八損失函數、第九損失函數和第十損失函數，所述澤尼克多項式理論數據中包括澤尼克多項式理論系數和理論系數特征向量，所述澤尼克多項式預測數據包括澤尼克多項式預測系數和預測系數特征向量；所述基于所述第三損失函數，對所述第一樣本中澤尼克多項式理論數據和所述澤尼克多項式預測數據處理，得到第三誤差值，包括：
8.一種對象面形信息確定裝置，其特征在于，包括：
9.一種電子設備，其特征在于，所述電子設備包括：
10.一種計算機可讀存儲介質，其特征在于，所述計算機可讀存儲介質存儲有計算機指令，所述計算機指令用于使處理器執行時實現權利要求1-7中任一項所述的對象面形信息確定方法。
...【技術特征摘要】
1.一種對象面形信息確定方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述面形重構模型中包括圖像預處理模型、相位解包裹模型和波面擬合模型；所述將所述干涉條紋圖、所述圖像描述信息、預設圖像處理方式描述信息以及澤尼克多項式圖像輸入至預先訓練的面形重構模型中，得到澤尼克多項式系數，包括：
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述根據所述相位解包裹圖、所述澤尼克系數求解方式描述信息、所述波面擬合需求信息、所述多項式轉換指導信息以及澤尼克多項式圖像，確定波面擬合引導特征，包括：
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述目標損失函數包括第一損失函數、第二損失函數和第三損失函數，所述基于目標損失函數，對所述第一樣本中第二干涉條紋數據和所述第三干涉條紋數據、所述第一樣本中相位解包裹理論數據和所述相位解包裹預測數據，以及所述第一樣本中澤尼克多項式理論數據和所述澤尼克多項式預測數據處理，得到損失值，包括：
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一損失函數包括第四損失函數、第五損失函數和第六損失...
【專利技術屬性】
技術研發人員：邢彥文，劉建，
申請(專利權)人：廣東省大灣區集成電路與系統應用研究院，
類型：發明
國別省市：
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