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本申請實施例公開了一種晶圓烘烤方法及裝置。其中，晶圓烘烤裝置包括晶圓承載組件、烘烤組件和搬運組件，烘烤組件包括至少一個壓力烤箱，壓力烤箱被配置為烘烤晶圓。通過本申請實施例，先對存放有晶圓的壓力烤箱內的壓力進行一次正負壓的振蕩調節，從而將大氣...
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