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本發明涉及成像系統設計檢測技術領域，尤其涉及一種成像系統的設計檢測方法，本發明對成像系統的功能模塊進行了描述，對于拓撲層次分別從頂層系統和底層具體各模塊角度制定了不同的檢測策略，制定了設計復核的具體內容和要點以及對應的檢測方法；對于設計流程...該專利屬于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院長春光學精密機械與物理研究所授權不得商用。
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本發明涉及成像系統設計檢測技術領域，尤其涉及一種成像系統的設計檢測方法，本發明對成像系統的功能模塊進行了描述，對于拓撲層次分別從頂層系統和底層具體各模塊角度制定了不同的檢測策略，制定了設計復核的具體內容和要點以及對應的檢測方法；對于設計流程...