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本申請為一種具有冷卻緩沖腔的線性電漿制程機(jī)構(gòu)，線性電漿制程機(jī)構(gòu)包括一輸送單元、一鍍膜腔體及一緩沖腔體。輸送單元沿一水平的傳輸方向移動一待鍍物，將待鍍物沿傳輸方向輸入至鍍膜腔體內(nèi)以進(jìn)行鍍膜處理，而至少一緩沖腔體與鍍膜腔體連接設(shè)置，輸送單元將待...該專利屬于友威科技股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過友威科技股份有限公司授權(quán)不得商用。