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本發明公開了一種用于半導體晶圓廠硬件設備的微控制器電路，涉及半導體晶圓廠硬件控制技術領域，用于解決現有的半導體晶圓廠存在不能對硬件設備的信息進行讀寫和控制，導致使用不便的問題；本發明通過設置射頻讀寫模塊，以便于讀寫半導體晶圓廠硬件設備的讀寫...
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