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本申請涉及一種絕緣氣針及射頻離子源，應用于射頻離子源，包括：串聯連接的進氣管、氣針本體以及出氣管；其中，所述進氣管以及出氣管分別連接在氣針本體兩端；所述氣針本體包括：導氣件、絕緣件、第一電極、第二電極以及電磁屏蔽層；所述絕緣件包裹導氣件，所...該專利屬于中山市博頓光電科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過中山市博頓光電科技有限公司授權不得商用。
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本申請涉及一種絕緣氣針及射頻離子源，應用于射頻離子源，包括：串聯連接的進氣管、氣針本體以及出氣管；其中，所述進氣管以及出氣管分別連接在氣針本體兩端；所述氣針本體包括：導氣件、絕緣件、第一電極、第二電極以及電磁屏蔽層；所述絕緣件包裹導氣件，所...