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本技術(shù)提供一種濕法工藝基板處理裝置，其包含一槽體、多個(gè)外環(huán)罩及一升降機(jī)構(gòu)。各外環(huán)罩分別環(huán)繞槽體，外環(huán)罩相互套疊，至少一部分的外環(huán)罩能夠各自垂直移動(dòng)。升降機(jī)構(gòu)包含一驅(qū)動(dòng)軸、一溝槽凸輪組及多個(gè)連桿，驅(qū)動(dòng)軸連接溝槽凸輪組，在溝槽凸輪組上設(shè)置有多個(gè)...該專利屬于辛耘企業(yè)股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過辛耘企業(yè)股份有限公司授權(quán)不得商用。