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本發明提供一種離子源，能夠容易地進行維護作業。離子源(10)具備從內部引出離子束的容器(11)，容器(11)具備：等離子體生成部(12)，在內部生成等離子體；以及電極收納部(13)，收納用于取出離子束的電極。離子源(10)構成為，在電極收納...
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