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本實(shí)用新型涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括爐體、原料倉(cāng)、尾氣管道、尾氣吸收罐和氣密裝置，氣密裝置包括定位圓環(huán)、移動(dòng)圓環(huán)、移動(dòng)組件、固定組件和輔助組件，定位圓環(huán)與爐體固定連接，并與尾氣管道抵接，移動(dòng)圓環(huán)...該專利屬于深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司授權(quán)不得商用。