本實用新型專利技術涉及化學氣相沉積設備技術領域，具體涉及一種金屬有機化學氣相沉積設備，包括爐體、原料倉、尾氣管道、尾氣吸收罐和氣密裝置，氣密裝置包括定位圓環、移動圓環、移動組件、固定組件和輔助組件，定位圓環與爐體固定連接，并與尾氣管道抵接，移動圓環通過移動組件與爐體連接，固定組件分別設置在定位圓環和移動圓環上，在對尾氣進行排出至尾氣吸收罐內時，通過移動組件將移動圓環朝著定位圓環的方向移動，使得移動圓環與定位圓環抵接，此時移動圓環與定位圓環將尾氣管道與爐體的連接處完全包裹住，從而提高尾氣管道與爐體之間的氣密性，使得未經處理的尾氣不會泄露至空氣中，對空氣起到保護作用。對空氣起到保護作用。對空氣起到保護作用。
【技術實現步驟摘要】
一種金屬有機化學氣相沉積設備
[0001]本技術涉及化學氣相沉積設備
，尤其涉及一種金屬有機化學氣相沉積設備。
技術介紹
[0002]化學氣相沉積法是制備碳包復合材料的主要方法之一，現有的化學氣相沉積爐大多為非連續性的裝置，每次升溫、沉積結束后，需要降溫后重新加料，才能進行下一次的沉積操作，設備稼動率底下，導致生產效率低下。
[0003]現有技術CN209522919U公開一種化學氣相沉積爐及化學氣相沉積設備，包括爐體、進料口、出料口、進氣口、出氣口和設置于爐體內部的攪拌結構，使用時，物料進入爐體后在爐體和攪拌結構的帶動下在爐腔內反復移動，動態的物料與碳源氣體均勻接觸，裂解碳在物料表面均勻沉積，實現均勻的碳包覆，并通過設置原料倉和成品倉，使得原料倉和成品倉能夠各自獨立地密封和拆卸，實現了在沉積反應過程中進行原料裝填和成品卸取，避免了重啟反應前后進行升降溫時間的耗費，提高生產效率，且在爐體靠近成品倉一端設置尾氣吸收罐，防止尾氣對空氣造成污染。
[0004]但是采用上述方式，在對尾氣進行排出至尾氣吸收罐內時，管道與爐體在長時間的使用中，容易降低管道的氣密性，導致在對尾氣進行凈化時尾氣排放不夠徹底，導致對空氣造成污染。
技術實現思路
[0005]本技術的目的在于提供一種金屬有機化學氣相沉積設備，能夠使得在對尾氣進行排出至尾氣吸收罐內時，提高管道與爐體之間的氣密性，使得未經處理的尾氣不會泄露至空氣中，對空氣起到保護作用。
[0006]為實現上述目的，本技術提供了一種金屬有機化學氣相沉積設備，包括爐體、原料倉、尾氣管道和尾氣吸收罐，所述原料倉與所述爐體固定連接，并位于所述爐體一側，所述尾氣管道與所述爐體可拆卸連接，并位于所述爐體一側，所述尾氣吸收罐與所述尾氣管道可拆卸連接，并位于所述尾氣管道遠離所述爐體一側，還包括氣密裝置；
[0007]所述氣密裝置包括定位圓環、移動圓環、移動組件、固定組件和輔助組件，所述定位圓環與所述爐體固定連接，并與所述尾氣管道抵接，所述移動圓環通過所述移動組件與所述爐體連接，所述固定組件分別設置在所述定位圓環和所述移動圓環上，所述輔助組件分別設置在所述定位圓環和所述移動圓環上。
[0008]其中，所述移動組件包括移動軌道和凸形滑塊，所述移動軌道與所述爐體固定連接，并位于所述爐體一側；所述凸形滑塊與所述移動軌道滑動連接，并與所述移動圓環固定連接。
[0009]其中，所述固定組件包括定位板、抵接板和鎖緊構件，所述定位板與所述定位圓環固定連接，并位于所述定位圓環一側；所述抵接板與所述移動圓環固定連接，并位于所述移
動圓環一側。
[0010]其中，所述鎖緊構件包括螺紋桿和鎖緊螺母，所述螺紋桿與所述定位板固定連接，并與所述抵接板滑動連接；所述鎖緊螺母與所述螺紋桿螺紋連接，并與所述抵接板抵接。
[0011]其中，所述輔助組件包括第一密封墊和第二密封墊，所述第一密封墊與所述定位圓環固定連接，并位于所述定位圓環靠近所述尾氣管道一側；所述第二密封墊與所述移動圓環固定連接，并位于所述移動圓環靠近所述尾氣管道一側。
[0012]本技術的一種金屬有機化學氣相沉積設備，包括爐體、原料倉、尾氣管道、尾氣吸收罐和氣密裝置，所述氣密裝置包括定位圓環、移動圓環、移動組件、固定組件和輔助組件，在對尾氣進行排出至所述尾氣吸收罐內時，通過所述移動組件將所述移動圓環朝著所述定位圓環的方向移動，使得所述移動圓環與所述定位圓環抵接，此時所述移動圓環與所述定位圓環將所述尾氣管道與所述爐體的連接處完全包裹住，并在所述固定組件的作用下使得所述移動圓環與所述定位圓環此時保持穩定狀態，從而提高所述尾氣管道與所述爐體之間的氣密性，使得未經處理的尾氣不會泄露至空氣中，對空氣起到保護作用。
附圖說明
[0013]為了更清楚地說明本申請實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0014]圖1是本技術第一實施例的金屬有機化學氣相沉積設備的整體結構示意圖。
[0015]圖2是本技術第一實施例的氣密裝置的結構示意圖。
[0016]圖3是本技術第一實施例的鎖緊構件的結構示意圖。
[0017]圖4是本技術第二實施例的輔助組件的結構示意圖。
[0018]圖中：101
?
爐體、102
?
原料倉、103
?
尾氣管道、104
?
尾氣吸收罐、105
?
定位圓環、106
?
移動圓環、107
?
移動軌道、108
?
凸形滑塊、109
?
定位板、110
?
抵接板、111
?
螺紋桿、112
?
鎖緊螺母、201
?
第一密封墊、202
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第二密封墊。
具體實施方式
[0019]下面詳細描述本技術的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，旨在用于解釋本技術，而不能理解為對本技術的限制。
[0020]本申請的第一實施例為：
[0021]請參閱圖1至圖3，其中圖1是金屬有機化學氣相沉積設備的整體結構示意圖，圖2是氣密裝置的結構示意圖，圖3是鎖緊構件的結構示意圖。本技術提供一種金屬有機化學氣相沉積設備：包括爐體101、原料倉102、尾氣管道103、尾氣吸收罐104和氣密裝置，所述氣密裝置包括定位圓環105、移動圓環106、移動組件、固定組件和輔助組件，所述移動組件包括移動軌道107和凸形滑塊108，所述固定組件包括定位板109、抵接板110和鎖緊構件，所述鎖緊構件包括螺紋桿111和鎖緊螺母112。通過前述方案解決了在對尾氣進行排出至所述尾氣吸收罐104內時，所述尾氣管道103與所述爐體101在長時間的使用中，容易降低所述尾氣管道103的氣密性，導致在對尾氣進行凈化時尾氣排放不夠徹底，導致對空氣造成污染，可以理解的是，前述方案可以用于在對尾氣進行排出至所述尾氣吸收罐104內時，提高所述
尾氣管道103與所述爐體101之間的氣密性，使得未經處理的尾氣不會泄露至空氣中，對空氣起到保護作用，還可以用在對所述尾氣管道103起到一定的保護作用。
[0022]針對本具體實施方式，所述原料倉102與所述爐體101固定連接，并位于所述爐體101一側，所述尾氣管道103與所述爐體101可拆卸連接，并位于所述爐體101一側，所述尾氣吸收罐104與所述尾氣管道103可拆卸連接，并位于所述尾氣管道103遠離所述爐體101一側，所述爐體101上設置所述原料倉102，用于對原料進行加入，所述爐體101上還設置進氣口，用于對氣體的加入，所述爐體101內設置攪拌結構，所述爐體101的兩端設有開口，這兩個開口可設置成與所述爐體101一體成型的兩個管路，兩個管路可通過進氣管和儲氣罐分別與本文檔來自技高網...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種金屬有機化學氣相沉積設備，包括爐體、原料倉、尾氣管道和尾氣吸收罐，所述原料倉與所述爐體固定連接，并位于所述爐體一側，所述尾氣管道與所述爐體可拆卸連接，并位于所述爐體一側，所述尾氣吸收罐與所述尾氣管道可拆卸連接，并位于所述尾氣管道遠離所述爐體一側，其特征在于，還包括氣密裝置；所述氣密裝置包括定位圓環、移動圓環、移動組件、固定組件和輔助組件，所述定位圓環與所述爐體固定連接，并與所述尾氣管道抵接，所述移動圓環通過所述移動組件與所述爐體連接，所述固定組件分別設置在所述定位圓環和所述移動圓環上，所述輔助組件分別設置在所述定位圓環和所述移動圓環上。2.如權利要求1所述的金屬有機化學氣相沉積設備，其特征在于，所述移動組件包括移動軌道和凸形滑塊，所述移動軌道與所述爐體固定連接，并位于所述爐體一側；所述凸形滑塊與所述移動軌道滑...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王雨，張杰，周超前，
申請(專利權)人：深圳市矢量科學儀器有限公司，
類型：新型
國別省市：
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