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    下載彎月面測量裝置及方法、基板處理裝置的技術資料

    文檔序號:36701482

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    本發明提供了一種能夠快速且準確地測量噴墨頭的多個噴嘴中的彎月面位置的彎月面測量方法。所述彎月面測量方法包括:提供能夠通過多個噴嘴來噴出墨的頭單元;使膜與所述多個噴嘴密接,使得殘留在所述多個噴嘴內的墨沾到所述膜上,從而在所述膜上形成檢測圖案;...
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