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本發明公開了一種光刻膠低溫固化厚膜的制備方法。包括：1)在晶圓上涂覆光敏性樹脂組合物膠液，勻膠，前烘，得到厚膜；2)曝光；3)顯影；4)固化，得到含第一層固化膜的晶圓；5)貼覆干膜：在上述晶圓的第一層固化膜上貼覆干膜作為后續繼續勻膠的支撐膜...該專利屬于明士（北京）新材料開發有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過明士（北京）新材料開發有限公司授權不得商用。
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