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本發(fā)明公開了一種工業(yè)廢氣雙腔處理裝置，包括藥劑桶，藥劑桶包括主藥劑桶和副藥劑桶，主藥劑桶和副藥劑桶外表面靠近其底部的同側(cè)位置均設(shè)置有進(jìn)氣口，主藥劑桶和副藥劑桶頂部均連接有出氣管，主藥劑桶的進(jìn)氣口連通有主進(jìn)氣管，副藥劑桶的進(jìn)氣口通過氣動(dòng)閥連通...該專利屬于合肥亞笙半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過合肥亞笙半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司授權(quán)不得商用。