【技術實現步驟摘要】
一種工業廢氣雙腔處理裝置
[0001]本專利技術涉及廢氣處理
,具體為一種工業廢氣雙腔處理裝置。
技術介紹
[0002]由于半導體、LCD、太陽能等行業工藝氣體種類、氣體量、氣體安全排放無 法達到排放大氣要求;對環境造成危害,結合現有實際要求,研發新型藥劑吸 附式Scrubber,自主、創新理念,新型產品成為一項重要研發任務和責任。
技術實現思路
[0003]為實現上述目的,本專利技術采取的技術方案為:
[0004]一種工業廢氣雙腔處理裝置,包括藥劑桶,藥劑桶包括主藥劑桶(1)和副藥 劑桶(2),主藥劑桶(1)和副藥劑桶(2)外表面靠近其底部的同側位置均設置有進 氣口(3),主藥劑桶(1)和副藥劑桶(2)頂部均連接有出氣管(6);
[0005]主藥劑桶(1)的進氣口(3)連通有主進氣管(4),副藥劑桶(2)的進氣口(3)通 過氣動閥(8)連通有副進氣管(5),副進氣管(5)左端通過三通接頭與主進氣管(4) 連通;
[0006]主進氣管(4)外表面還固定有控制氣動閥(8)的PID控制箱(9);
[0007]出氣管(6)遠離藥劑桶的一端通過三通接頭連通有出口變徑管(7);
[0008]出氣管遠離藥劑桶的一端通過三通接頭連通有出口變徑管,廢氣經過主進 氣管進入主藥劑桶,藥劑桶中的藥劑與廢氣Gas進行充分飽和化學反應,處理 后經過出氣管排出,PID控制箱試試監控進氣壓力變化,壓力增大判斷主藥劑桶 堵塞,繼而打開氣動閥,副進氣管進氣,副藥劑桶開始工作,以便于藥劑桶可 ...
【技術保護點】
【技術特征摘要】
1.一種工業廢氣雙腔處理裝置,包括藥劑桶,其特征在于:藥劑桶包括主藥劑桶(1)和副藥劑桶(2),主藥劑桶(1)和副藥劑桶(2)外表面靠近其底部的同側位置均設置有進氣口(3),主藥劑桶(1)和副藥劑桶(2)頂部均連接有出氣管(6);主藥劑桶(1)的進氣口(3)連通有主進氣管(4),副藥劑桶(2)的進氣口(3)通過氣動閥(8)連通有副進氣管(5),副進氣管(5)左端通過三通接頭與主進氣管(4)連通;主進氣管(4)外表面還固定有控制氣動閥(8)的PI...
【專利技術屬性】
技術研發人員:王虎成,張丹,王銳,陳俊,汪敏,沈蓉,
申請(專利權)人:合肥亞笙半導體設備科技有限公司,
類型:發明
國別省市:
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