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    下載金屬鑲嵌的制造方法的技術資料

    文檔序號:3208306

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    一種金屬鑲嵌的制造方法,該制造方法至少包括下列步驟:    于一基礎層上方依序沉積一蝕刻終止層與一介電層;    于該介電層與該蝕刻終止層中形成一開孔;    其特征在于:該方法還包括以下步驟:    于該介電層表面與該開孔側邊及底部沉積一...
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