溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型屬于半導體制造裝置領域，公開了一種磊晶裝置的清灰管路及磊晶裝置。磊晶裝置包括磊晶腔體和傳送腔體，磊晶裝置的清灰管路包括三通閥、排灰氣源以及清灰管路，三通閥包括第一接口、第二接口以及第三接口，第一接口連通磊晶腔體，第二接口連通傳送腔...該專利屬于泉芯集成電路制造（濟南）有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過泉芯集成電路制造（濟南）有限公司授權不得商用。
溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。
本實用新型屬于半導體制造裝置領域，公開了一種磊晶裝置的清灰管路及磊晶裝置。磊晶裝置包括磊晶腔體和傳送腔體，磊晶裝置的清灰管路包括三通閥、排灰氣源以及清灰管路，三通閥包括第一接口、第二接口以及第三接口，第一接口連通磊晶腔體，第二接口連通傳送腔...