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本實用新型公開了一種單晶爐用排氣護套，包括排氣管罩和排氣套管；所述排氣套管的底部與爐底單晶爐排氣管連接；所述排氣管罩通過可拆卸的方式卡接于排氣套管的頂部，排氣管罩的側面環向均勻布置有兩個以上的氣流通道。該單晶爐用排氣護套頂部采用排氣管罩設計...該專利屬于寧夏協鑫晶體科技發展有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過寧夏協鑫晶體科技發展有限公司授權不得商用。
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本實用新型公開了一種單晶爐用排氣護套，包括排氣管罩和排氣套管；所述排氣套管的底部與爐底單晶爐排氣管連接；所述排氣管罩通過可拆卸的方式卡接于排氣套管的頂部，排氣管罩的側面環向均勻布置有兩個以上的氣流通道。該單晶爐用排氣護套頂部采用排氣管罩設計...