一種單晶爐用排氣護套制造技術

本實用新型專利技術公開了一種單晶爐用排氣護套，包括排氣管罩和排氣套管；所述排氣套管的底部與爐底單晶爐排氣管連接；所述排氣管罩通過可拆卸的方式卡接于排氣套管的頂部，排氣管罩的側面環向均勻布置有兩個以上的氣流通道。該單晶爐用排氣護套頂部采用排氣管罩設計，實現氣流的環向多角度橫向進入利于爐內氣流的穩定同時可避免漏硅時硅液進入排氣管燒損設備；中部采用排氣套管設計，避免堵塞，滿足熱場底部保溫不同高度的調節；下部采用排氣管隔離環設計，可有效避免熱量向下傳導，實現節能降耗的目的。目的。目的。

【技術實現步驟摘要】
一種單晶爐用排氣護套


[0001]本技術屬于單晶硅制備裝置領域，具體涉及一種單晶爐用排氣護套。

技術介紹

[0002]隨著一爐多根拉晶工藝的不斷優化提升，對于爐臺長時間運行爐壓保持穩定提出了更高的要求。單晶爐熱場排氣護套是單晶爐熱場的部件的之一。其主要作用是引導爐內氣流自熱場內部排出單晶爐。由于其所處位置與單晶爐排氣口相連，冷熱交替極易出現堵塞，導致爐內排氣不暢爐壓上升影響拉晶。現有單晶爐排氣護套多為直筒結構，排氣護套與爐底排氣口交匯處極易堵塞，易出現高度不匹配，熱場安裝時統一性差。此外，排氣護套與爐底易接觸，熱量傳導增加了電耗；無防漏硅設計，漏硅后硅液易進入排氣管道損壞設備。

技術實現思路

[0003]本技術所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種可長時間使用不易堵塞同時可降低拉晶功率，漏硅時可有效防止硅液進入排氣管道損壞單晶爐設備的排氣護套。
[0004]為了實現上述目的，本技術采取的技術方案如下：
[0005]一種單晶爐用排氣護套，包括排氣管罩和排氣套管；所述排氣套管的底部與爐底單晶爐排氣管連接；所述排氣管罩通過可拆卸的方式卡接于排氣套管的頂部，排氣管罩的側面環向均勻布置有兩個以上的氣流通道。
[0006]具體地，所述排氣管罩包括底部的卡接端、頂部的端蓋以及連接于卡接端和端蓋之間的一組連結部；所述卡接端卡接于排氣套管的頂部；所述連結部環向均勻設置，相鄰的兩個連結部之間形成內外貫穿的氣流通道。
[0007]優選地，所述排氣套管的頂部口徑大于底部口徑，且貫穿于熱場底部保溫后與下方的爐底單晶爐排氣管連接。
[0008]優選地，所述排氣套管的外壁為直筒型，內壁自下而上厚度漸薄。
[0009]進一步地，所述排氣套管的底部設有用于與下方的爐底單晶爐排氣管連接的卡臺，所述的卡臺為內凹的環狀臺階，其卡接于下方的爐底單晶爐排氣管的頂部。
[0010]更進一步地，所述卡臺的底部固定有一環形的隔離環，其位于卡臺與爐底單晶爐排氣管之間，避免卡臺與爐底單晶爐排氣管直接接觸。
[0011]優選地，所述隔離環的材質為石英材料；所述排氣管罩和排氣套管的材質均為石墨材料。
[0012]有益效果：
[0013]本技術單晶爐用排氣護套頂部采用排氣管罩設計，實現氣流的環向多角度橫向進入利于爐內氣流的穩定同時可避免漏硅時硅液進入排氣管燒損設備；中部采用排氣套管設計，避免堵塞，滿足熱場底部保溫不同高度的調節；下部采用排氣管隔離環設計，可有效避免熱量向下傳導，實現節能降耗的目的。
附圖說明
[0014]下面結合附圖和具體實施方式對本技術做更進一步的具體說明，本技術的上述和/或其他方面的優點將會變得更加清楚。
[0015]圖1是該單晶爐用排氣護套的整體結構示意圖。
[0016]圖2是該單晶爐用排氣護套的排氣管罩局部結構示意圖。
[0017]圖3是該單晶爐用排氣護套的使用狀態圖。
[0018]其中，各附圖標記分別代表：
[0019]1排氣管罩；11氣流通道；12卡接端；13端蓋；14連結部；2排氣套管；21卡臺；3隔離環；4熱場底部保溫；5爐底單晶爐排氣管。
具體實施方式
[0020]根據下述實施例，可以更好地理解本技術。
[0021]說明書附圖所繪示的結構、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內容，以供熟悉此技術的人士了解與閱讀，并非用以限定本技術可實施的限定條件，故不具技術上的實質意義，任何結構的修飾、比例關系的改變或大小的調整，在不影響本技術所能產生的功效及所能達成的目的下，均應仍落在本技術所揭示的
技術實現思路
所能涵蓋的范圍內。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“中間”等用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本技術可實施的范圍，其相對關系的改變或調整，在無實質變更
技術實現思路
下，當亦視為本技術可實施的范疇。
[0022]如圖1和圖3所示，該單晶爐用排氣護套包括排氣管罩1和排氣套管2，排氣管罩1和排氣套管2的材質均為石墨材料。其中，排氣管罩1通過可拆卸的方式卡接于排氣套管2的頂部。排氣套管2排氣套管2的外壁為直筒型，內壁自下而上厚度漸薄，從而使得頂部口徑大于底部口徑，且貫穿于熱場底部保溫4后與下方的爐底單晶爐排氣管5連接。排氣套管2內壁采用變徑設計，實現氣流的大流量進入，小口徑流出，收口處氣流快速通過，便于帶走下口處揮發物，避免堵塞。外壁采用直筒設計，可滿足熱場底部保溫不同高度的調節。
[0023]如圖2所示，排氣管罩1包括底部的卡接端12、頂部的端蓋13以及連接于卡接端12和端蓋13之間的一組連結部14；所述卡接端12卡接于排氣套管2的頂部；所述連結部14環向均勻設置，相鄰的兩個連結部14之間形成內外貫穿的氣流通道11。本實施例排氣管罩1的側面環向均勻形成有四個氣流通道，可有效增大氣流的入口同時實現氣流的環向多角度橫向進入利于爐內氣流的穩定。排氣管罩1頂部的端蓋13可有效防止漏硅時硅液自排氣管頂部進入爐底單晶爐排氣管5內燒損設備。
[0024]排氣套管2的底部設有用于與下方的爐底單晶爐排氣管5連接的卡臺21，所述的卡臺21為內凹的環狀臺階，通過伸入式設計卡接于下方的爐底單晶爐排氣管5的頂部，可實現排氣套管2與爐底排氣口的嚴密配合，利于氣流順暢流通，增加排氣效果。卡臺21的底部固定有一環形的隔離環3，其位于卡臺21與爐底單晶爐排氣管5之間，一方面可以起到支撐排氣套管2的作用，另一方面可以避免卡臺21與爐底單晶爐排氣管5直接接觸。在加上隔離環3采用高密度氣泡石英材料，可有效避免熱量向下傳導，實現節能降耗的目的。
[0025]該單晶爐排氣護套使用時，首先安裝隔離環3，水平放置時與爐底單晶爐排氣管5緊密貼合，同時需要保證兩者同心度一致。然后依次安裝排氣套管2使其下端縮頸處卡入隔
離環3內圓，最后安裝排氣管罩1，使其底部的卡接端12罩于排氣套管2上端即可。爐臺運行時氣流依次經過排氣管罩1、排氣套管2、爐底單晶爐排氣管5最終排出爐外。
[0026]本技術提供了一種單晶爐用排氣護套的思路及方法，具體實現該技術方案的方法和途徑很多，以上所述僅是本技術的優選實施方式，應當指出，對于本
的普通技術人員來說，在不脫離本技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本技術的保護范圍。本實施例中未明確的各組成部分均可用現有技術加以實現。
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【技術保護點】

【技術特征摘要】
1.一種單晶爐用排氣護套，其特征在于，包括排氣管罩(1)和排氣套管(2)；所述排氣套管(2)的底部與爐底單晶爐排氣管(5)連接；所述排氣管罩(1)通過可拆卸的方式卡接于排氣套管(2)的頂部，排氣管罩(1)的側面環向均勻布置有兩個以上的氣流通道(11)。2.根據權利要求1所述的單晶爐用排氣護套，其特征在于，所述排氣管罩(1)包括底部的卡接端(12)、頂部的端蓋(13)以及連接于卡接端(12)和端蓋(13)之間的一組連結部(14)；所述卡接端(12)卡接于排氣套管(2)的頂部；所述連結部(14)環向均勻設置，相鄰的兩個連結部(14)之間形成內外貫穿的氣流通道(11)。3.根據權利要求1所述的單晶爐用排氣護套，其特征在于，所述排氣套管(2)的頂部口徑大于底部口徑，且貫穿于熱場底部保溫(4)后與下方的爐底...

【專利技術屬性】
技術研發人員：鄭偉揚，王思鋒，周宇，李莎，
申請(專利權)人：寧夏協鑫晶體科技發展有限公司，
類型：新型
國別省市：