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本申請公開了一種用于半導體晶圓的工裝籃，包括一對擋板，一對所述擋板相向的端面之間連接有多根支撐桿，多個所述支撐桿包圍形成開口朝上的插槽，相鄰所述支撐桿之間設有支撐板，所述支撐板朝向插槽的端面上設有毛刷層。該工裝籃通過支撐桿包圍形成的插槽對半...該專利屬于張家港市德昶自動化科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過張家港市德昶自動化科技有限公司授權不得商用。
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