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本發(fā)明屬于氣體純化技術(shù)領(lǐng)域，涉及電子級二氧化碳的制備工藝及裝置。該制備工藝包括：從原料儲罐出來的液體二氧化碳原料經(jīng)換熱單元換熱后進入汽化單元中，將液體二氧化碳汽化為二氧化碳氣體；出汽化單元的二氧化碳氣體進入過濾和干燥單元中進行過濾和干燥處理...該專利屬于歐中電子材料(重慶)有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過歐中電子材料(重慶)有限公司授權(quán)不得商用。