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本公開實施例涉及一種半導(dǎo)體制造設(shè)備的系統(tǒng)及其操作方法。提供一種半導(dǎo)體制造設(shè)備FAB的裝置。在一個實施例中，所述裝置包含維護工具及配置成運輸至少一個定制部件的運輸工具。所述維護工具包含：第一軌道，其處于第一水平面；至少一個維護起重機，其可移動...該專利屬于臺灣積體電路制造股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過臺灣積體電路制造股份有限公司授權(quán)不得商用。