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本實用新型公開了一種適用于大直徑硅片表面處理的提籃，包括：底板；以及支撐板，垂直設置在所述底板兩側；支撐架，垂直所述底板和支撐板，橫向平行排列固定在所述底板和支撐板上；排氣孔，均勻設置在所述底板上，所述排氣孔排列的方向與所述支撐架垂直；還包...該專利屬于錦州神工半導體有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過錦州神工半導體有限公司授權不得商用。
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