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本發明涉及一種半導體設備用布線基板及其加工工藝，屬于半導體裝置技術領域。該半導體設備用布線基板，包括基板、冷卻液箱、循環泵和散熱裝置，基板自內至外包括基板本體、緩沖層、非晶硅層和保護層，基板本體內設置有散熱管路，散熱管路、循環泵、冷卻液箱和...
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