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本發明提供一種鈦聚焦環的清洗方法，包括：提供鈦聚焦環；通過酸溶液對所述鈦聚焦環進行第一清洗，所述酸溶液為硝酸與氫氟酸的混合溶液，所述酸溶液中硝酸與水的體積比值為25％～50％，氫氟酸與水的體積比值為25％～50％；對所述鈦聚焦環進行第二清洗...該專利屬于寧波江豐電子材料股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過寧波江豐電子材料股份有限公司授權不得商用。
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