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本發明提供在對基板上的有機材料膜進行干燥處理時盡量地降低混入到處理容器內的水分的影響的干燥裝置和干燥處理方法。干燥裝置（100）包括能夠抽成真空的處理容器（1）和用于在處理容器（1）內支承基板（S）的作為基板支承部的基板支承部（3），在干燥...
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