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    下載用于半導體器件的自對齊納米結構的技術資料

    文檔序號:15726098

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    一種用于形成半導體器件的方法,該方法包括以下步驟:a)提供半導體表面(6’),b)在所述表面(6’)上生長III?V半導體納米結構的第一部分(8),c)用第一材料的層(9)覆蓋所述第一部分(8),d)去除所述第一材料的層(9)的頂部部分,從...
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