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得到能夠容易且高精度地對(duì)多個(gè)探針的前端部的面內(nèi)位置及溫度進(jìn)行檢查的半導(dǎo)體裝置的評(píng)價(jià)裝置及評(píng)價(jià)方法。卡盤(pán)臺(tái)(1)對(duì)半導(dǎo)體裝置(2)進(jìn)行固定。多個(gè)探針(3)固定于絕緣基板(5)。溫度調(diào)整部(4)對(duì)多個(gè)探針(3)的溫度進(jìn)行調(diào)整。評(píng)價(jià)及控制部(10...該專(zhuān)利屬于三菱電機(jī)株式會(huì)社所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)三菱電機(jī)株式會(huì)社授權(quán)不得商用。