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    下載頻率可重構偶極子天線的GaAs基等離子pin二極管的制備方法的技術資料

    文檔序號:15693466

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    本發明涉及一種頻率可重構偶極子天線的GaAs基等離子pin二極管的制備方法,該GaAs基等離子pin二極管用于制造頻率可重構偶極子天線,該GaAs基等離子pin二極管制造方法包括:選取某一晶向的GeOI襯底;在GeOI襯底上淀積GaAs層,...
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