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    下載一種氧化物薄膜晶體管及其制造方法、陣列基板、顯示裝置的技術資料

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    一種氧化物薄膜晶體管及其制造方法、陣列基板、顯示裝置。該氧化物薄膜晶體管制造方法包括:提供襯底基板;在所述襯底基板上依次形成柵極金屬層、柵極絕緣層、有源層、源/漏電極層;從所述襯底基板背面進行激光退火工藝處理,以使所述有源層未與所述柵極金屬...
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