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    下載一種銳角金屬圖形剝離方法的技術資料

    文檔序號:15692846

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    本發明涉及半導體制作技術領域,具體涉及一種銳角金屬圖形剝離方法,包括以下步驟:S1、在銳角缺損的金屬圖形上涂覆聚酰亞胺層并烘干;S2、在所述聚酰亞胺層上涂覆光刻膠,采用光刻顯影定義出聚酰亞胺層的打開位置;S3、根據所述打開位置,采用刻蝕方式...
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