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本發(fā)明提供了工藝控制方法及系統(tǒng)，工藝包括父過程和子過程，父過程和子過程對(duì)應(yīng)的父配方和子配方均存儲(chǔ)于下位機(jī)中；工藝控制方法包括以下步驟：S1，下位機(jī)根據(jù)上位機(jī)發(fā)送的指令解析父配方，以獲取父執(zhí)行步驟順序以及每個(gè)父執(zhí)行步驟所對(duì)應(yīng)的子過程的標(biāo)識(shí)和循...該專利屬于北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司授權(quán)不得商用。