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本發(fā)明涉及一種高沉積速率PCVD工藝制造單模光纖芯棒的方法,其特征在于將純石英襯管置于微波諧振腔保溫爐內(nèi),純石英襯管穿過(guò)筒形微波諧振腔周期性的旋轉(zhuǎn),同時(shí)微波諧振腔相對(duì)純石英襯管作軸向往復(fù)移動(dòng);混合氣體從襯管的一端進(jìn)入管內(nèi),混合氣體的種類和流...該專利屬于長(zhǎng)飛光纖光纜股份有限公司所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過(guò)長(zhǎng)飛光纖光纜股份有限公司授權(quán)不得商用。