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本發明提供了一種晶圓的整列方法。該整列方法包括下列步驟：首先，提供至少一晶圓與一整列裝置，其中整列裝置包括一吸引構件與一限位構件；接著，以吸引構件吸持晶圓的一表面，并驅動吸引構件將晶圓移動至限位構件；以及于吸引構件吸持晶圓的狀況下，以限位構...該專利屬于英屬開曼群島商精曜有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過英屬開曼群島商精曜有限公司授權不得商用。
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