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一種研磨系統，該研磨系統包括支座以固持具有將被研磨的基板表面的基板、保持研磨墊與該基板表面接觸的載體，及壓力施加器，以在研磨墊的背面的選定區域施加壓力。該背面與該研磨表面相對。該壓力施加器包括致動器及主體，該主體經配置以由該致動器移動來接觸...
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