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    下載晶片的加工方法的技術資料

    文檔序號:14458809

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    本發明的課題在于提供晶片的加工方法,當在形成了由脈沖激光光線形成的改質層和裂痕之后執行磨削工序而分割成各個器件的情況下,不會導致器件的品質降低。為了解決上述課題,將在本發明的晶片的加工方法的改質層形成工序中設定的脈沖激光光線的功率設定為按照...
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