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本發明提供了一種化學機械研磨工藝的模擬裝置的建立，包括：第一步驟：根據工藝平臺下的設計規則，設計線寬對數?密度矩陣表格，包括線寬對數/密度的取值范圍以及線寬對數/密度坐標序列的步徑選取；第二步驟：根據線寬對數?密度矩陣表格中表格交點對應的線...
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