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    下載一種平面分離雙柵薄膜晶體管的技術資料

    文檔序號:13521036

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    本實用新型屬于半導體技術領域,公開了一種平面分離雙柵薄膜晶體管。所述平面分離雙柵薄膜晶體管,自下而上依次包括襯底、過渡層、柵電極層、絕緣柵介質層、半導體有源層、源電極/漏電極,所述源電極和漏電極相對設置于所述半導體有源層上方;所述柵電極層由...
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