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    下載使用化學剝離方法的III族氮化物基板的制備方法的技術(shù)資料

    文檔序號:13367074

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    本發(fā)明具體例中公開的非極性或半極性Ⅲ族氮化物層,可用于各種電子元件的基板上,不僅可以緩解或消除現(xiàn)有極性Ⅲ族氮化物基板的問題,而且可以通過化學剝離方法制備。...
    該專利屬于韓國光技術(shù)院所有,僅供學習研究參考,未經(jīng)過韓國光技術(shù)院授權(quán)不得商用。

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