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一種薄膜晶體管的制備方法，包括如下步驟：在基板上依次形成半導(dǎo)體層及第一柵極絕緣層；在第一柵極絕緣層上形成光刻膠圖案，光刻膠圖案包括第一光刻膠層及第二光刻膠層，第一光刻膠層的厚度大于第二光刻膠層的厚度；以光刻膠圖案為掩模，對(duì)半導(dǎo)體層及第一柵極...該專利屬于信利（惠州）智能顯示有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)信利（惠州）智能顯示有限公司授權(quán)不得商用。