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本發明公開了一種薄膜晶體管陣列面板及其制作方法。薄膜晶體管陣列面板包括：基板；薄膜晶體管，薄膜晶體管包括：柵極；半導體層；源極；以及漏極；絕緣層，絕緣層設置在柵極和基板上；蝕刻阻擋層，蝕刻阻擋層設置于半導體層及絕緣層上；電極層，電極層包括第...該專利屬于深圳市華星光電技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過深圳市華星光電技術有限公司授權不得商用。
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