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本發(fā)明的一種用于高真空下類金剛石基固-液復(fù)合潤滑薄膜的制備方法，包括如下步驟：首先以鋁合金、鈦合金、軸承鋼作為基體材料，使用前進(jìn)行拋光、丙酮超聲清洗、無水乙醇超聲清洗、烘干并置于真空室中，抽真空至5.0×10-3Pa，在沉積薄膜前對樣件進(jìn)行...該專利屬于上海航天設(shè)備制造總廠所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過上海航天設(shè)備制造總廠授權(quán)不得商用。