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本發明提供一種腔室內被處理對象的接觸結構、靜電吸盤及其制造方法。該接觸結構包括：具有格子狀的凹槽及被該凹槽環繞的突出結構排列。該接觸結構容易利用掩模快速形成。細小的突出結構排列即使在長時間使用之后，也能保持比較均勻的接觸比例，由此抑制發生斑...
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