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本發(fā)明公開(kāi)了一種金屬蝕刻設(shè)備內(nèi)部磁場(chǎng)線(xiàn)圈保護(hù)裝置，其包括金屬蝕刻腔體，金屬蝕刻腔體內(nèi)部設(shè)置有用于氣體傳輸?shù)奶貧夤艿溃约坝糜诋a(chǎn)生磁場(chǎng)的磁場(chǎng)線(xiàn)圈；所述特氣管道外部設(shè)置有管道防護(hù)裝置，管道防護(hù)裝置設(shè)置于磁場(chǎng)線(xiàn)圈于特氣管道端面之上的投影位置；采用...該專(zhuān)利屬于蘇州賽森電子科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)蘇州賽森電子科技有限公司授權(quán)不得商用。