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本發明公開一種去溢料裝置，包括藥液子槽、藥液母槽，藥液子槽與藥液母槽之間連接有管道，所述管道上設有過濾分離器，所述過濾分離器內設有轉軸，所述轉軸與位于過濾分離器頂部的驅動裝置連接。本發明結構簡單、易于實現，有效去除因電解工藝殘留于藥液中溢料...該專利屬于桂林斯壯微電子有限責任公司所有，僅供學習研究參考，未經過桂林斯壯微電子有限責任公司授權不得商用。
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