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本實用新型公開了一種MEMS器件氣密封裝蓋板，包括蓋板本體和Au80Sn20合金焊片，所述蓋板本體的一面上激光刻蝕有略小于焊片內框的矩形框狀線溝槽，所述的Au80Sn20合金焊片熔化后受線溝槽束縛呈規則形狀與蓋板冶金結合，保證焊料與蓋板的定...
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