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混合模式包含接收檢驗結果，所述檢驗結果包含晶片的選定區(qū)域的一或多個圖像，所述一或多個圖像包含一或多個晶片裸片，所述一或多個晶片裸片包含一組重復塊，所述組重復塊包含一組重復單元。另外，混合模式檢驗包含調整所述一或多個圖像的像素大小，以將每一單...該專利屬于科磊股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過科磊股份有限公司授權不得商用。
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