溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。

本實用新型為一種免抓夾靜電拖盤結構，其包括：托盤，其形成有至少一個載盤用以承載晶圓；至少一個靜電膜，每一個靜電膜是固設于載盤上；以及上蓋。免抓夾靜電拖盤結構是以靜電吸附的方式使上蓋蓋覆于托盤上，并使晶圓固定于載盤與相對應的上蓋的開口之間不會...
該專利屬于聚昌科技股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過聚昌科技股份有限公司授權不得商用。

詳細技術文檔下載地址

溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。