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本發明提供了一種掩模板檢測裝置及方法、掩模板清洗裝置，通過設置用于對掩模板進行殘留物檢測并生成檢測信息的檢測模塊；用于基于檢測信息，確定檢測結果的控制模塊，所述檢測結果用于標識所述掩模板的清潔度。從而可自動實現掩模板清潔度的檢測，提高掩模板...該專利屬于合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司授權不得商用。