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本發明公開了屬于微機械靜電驅動技術領域的一種微機械靜電驅動的梳齒結構。所述梳齒的形狀采用三角形與梯形結合的方式，或是三角形與矩形結合的方式，或是梯形之間互相結合的方式。所述微機械靜電驅動的梳齒結構是兩片梳齒對插，直接與器件基底固連的為定電極...
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