【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
一種微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)的梳齒結(jié)構(gòu)
[0001 ] 本專利技術(shù)屬于微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)
，特別涉及一種微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)的梳齒結(jié)構(gòu)。
技術(shù)介紹
靜電驅(qū)動(dòng)是微機(jī)械驅(qū)動(dòng)技術(shù)的一種重要方式，在目前的微機(jī)電器件中有廣泛的應(yīng)用。目前在靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中最常見的是矩形梳齒陣列結(jié)構(gòu)。但是目前的矩形梳齒靜電驅(qū)動(dòng)器存在著驅(qū)動(dòng)力偏小、驅(qū)動(dòng)電壓過高的問題。而微機(jī)電器件的應(yīng)用場合往往對(duì)驅(qū)動(dòng)電壓有上限要求，或是對(duì)驅(qū)動(dòng)力有下限要求。解決這一矛盾的常見辦法包括增加陣列中梳齒數(shù)量，減小結(jié)構(gòu)剛度等。增加梳齒數(shù)量的弊端是會(huì)增加器件的質(zhì)量和體積，減小結(jié)構(gòu)剛度則存在著降低機(jī)械穩(wěn)定性的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的目的是提供一種微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)的梳齒結(jié)構(gòu)，其特征在于，梳齒的形狀采用三角形與梯形結(jié)合的方式，或是三角形與矩形結(jié)合的方式，或是梯形之間互相結(jié)合的方式；其中單個(gè)梳齒的光刻面圖形形狀為斜三角形或斜梯形，即非直角三角形或非直角梯形。 所述梳齒的形狀采用三角形與梯形結(jié)合的結(jié)構(gòu)是在器件基底上先作出一段梯形，在梯形頂部連接三角形。 所述三角形與矩形結(jié)合的結(jié)構(gòu)是在器件基底上先作出一段矩形，接著再作三角形。 所述梯形之間互相結(jié)合的結(jié)構(gòu)是在器件基底上先作出一段大梯形，接著再作小梯形。 所述微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)的梳齒結(jié)構(gòu)是兩片梳齒對(duì)插，直接與器件基底固連的為定電極，通過主梁、彈簧梁與器件基底固連的為動(dòng)電極，主梁、彈簧梁、動(dòng)電極共同構(gòu)成結(jié)構(gòu)的可動(dòng)部分。 本專利技術(shù)的有益效果是本專利技術(shù)的梳齒結(jié)構(gòu)在微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)器的使用，相比于使用傳統(tǒng)的矩形梳齒的靜電驅(qū)動(dòng)器，可以在不降低驅(qū)動(dòng)行程的前提...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)的梳齒結(jié)構(gòu)，其特征在于，梳齒的形狀采用三角形與梯形結(jié)合的方式，或是三角形與矩形結(jié)合的方式，或是梯形之間互相結(jié)合的方式；其中單個(gè)梳齒的光刻面圖形形狀為斜三角形或斜梯形，即非直角三角形或非直角梯形。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)的梳齒結(jié)構(gòu)，其特征在于，梳齒的形狀采用三角形與梯形結(jié)合的方式，或是三角形與矩形結(jié)合的方式，或是梯形之間互相結(jié)合的方式；其中單個(gè)梳齒的光刻面圖形形狀為斜三角形或斜梯形，即非直角三角形或非直角梯形。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)的梳齒結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述梳齒的形狀采用三角形與梯形結(jié)合的結(jié)構(gòu)是在基底上先作出一段梯形，在梯形頂部連接三角形。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種微機(jī)械靜電驅(qū)動(dòng)的梳齒結(jié)構(gòu)，其特征在...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：高永豐，尤政，趙嘉昊，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：清華大學(xué)，
類型：發(fā)明
國別省市：北京;11
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